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    產品中心
    Product Center
    

    



  



    
  
    
    
      
    
          
                
                      
              
    當前位置：首頁產品中心實驗室搭建PECVD 射頻模塊
        
              
            
          
    
      
    
      
      
    
        
        
    
          
      
        	
            
            
    • 上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積
      

      
    
    
      上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。
      
    
      
        
      
            
      更新時間：2023-12-21
      
            
      產品型號：
      
            
      瀏覽量：2336
      
            
      
        
      
    
      

      

      

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    • KT-PE500ZPECVD射頻模塊
      

      
    
    
      PECVD射頻模塊通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。
      
    
      
        
      
            
      更新時間：2023-12-15
      
            
      產品型號：KT-PE500Z
      
            
      瀏覽量：2521
      
            
      
        
      
    
      

      

      

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