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  • 產(chǎn)品中心

    Product Center

    PECVD射頻模塊

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    PECVD射頻模塊通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

    產(chǎn)品型號(hào):KT-PE500Z
    更新時(shí)間:2023-12-15
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:1742
    詳細(xì)介紹在線留言
    品牌其他品牌電動(dòng)機(jī)功率1000kW
    外形尺寸0mm重量16kg
    應(yīng)用領(lǐng)域電子

         KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

    PECVD射頻模塊產(chǎn)品參數(shù):

    型號(hào)

    KT-PE150S

    KT-PE500Z

    信號(hào)頻率

    13.56MHz±0.005%


    功率輸出范圍

    0-150W

    0-500W

    功率穩(wěn)定度

    ≤5W


    大反射功率

    40W


    射頻輸出接口

    7/16,female  50 Ω


    功率穩(wěn)定度

    ≤5W


    匹配方式

    手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配

    500W自動(dòng)匹配

    耦合方式

    電感式耦合


    輝光壓力

    ≤30Pa


    供電電壓

    50/60Hz 220v±10%


    整機(jī)效率

    ≥70%


    冷卻方式

    強(qiáng)制風(fēng)冷


    支持爐管直徑

    φ25-φ80

    φ25-φ150

    感應(yīng)區(qū)

    210mm


    整機(jī)重量

    48KG


    整機(jī)尺寸:H x W x D(mm)

    600 x 600x 1100


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