氣敏材料真空測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面最高可升溫到最高350℃。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，做多可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，需自行將引入腔體的信號(hào)線連接到測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電子信號(hào)。

氣敏材料真空測(cè)試腔 技術(shù)資料

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