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    Product Center

    當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD水冷型磁控濺射儀

    水冷型磁控濺射儀

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    水冷型磁控濺射儀,7寸人機(jī)界面,自動(dòng)手動(dòng)模式切換控制,最大功率1000w直流磁控濺射

    產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650PVD
    更新時(shí)間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:1446
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    品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求通氣
    樣品臺(tái)尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
    樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
    靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀 等價(jià)格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    水冷型磁控濺射儀,7寸人機(jī)界面,自動(dòng)手動(dòng)模式切換控制,最大功率1000w直流磁控濺射

    單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等

    單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比磁控濺射鍍膜設(shè)備,具有標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、可定制化的特點(diǎn)。

    所配電源為1000W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實(shí)現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。

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    水冷型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);

    控制方式

    7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    ≤1000W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    真空

    機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺(tái)

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105mm

    真空測(cè)量

    皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口



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