產(chǎn)品中心
Product Center
當(dāng)前位置：首頁(yè)
產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)探針臺(tái)KT-Z1604TZ高溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃。以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ
真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量，真空腔一體成型，具有設(shè)計(jì)合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn)；根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ參數(shù)
|
真空腔體 | |
|
腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
|
上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
|
加熱臺(tái)材質(zhì) |
304不銹鋼 |
|
內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
|
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
|
加熱臺(tái)尺寸 |
φ60mm |
|
觀察窗熱臺(tái)間距 |
75mm |
|
加熱臺(tái)溫度 |
﹣196~350℃ |
|
加熱臺(tái)溫控誤差 |
±1℃ |
|
真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
|
允許正壓 |
≤0.1MPa |
|
真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
|
氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
|
電信號(hào)接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
|
電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
|
探針數(shù)量 |
4探針 |
|
探針材質(zhì) |
鎢針 |
|
探針尖 |
10μm |
|
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
|
X軸移動(dòng)行程 |
30mm ±15mm |
|
X軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Y軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
電子顯微鏡 | |
|
顯微鏡類別 |
物鏡 |
|
物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
|
工作間距 |
90mm |
|
相機(jī) |
sony 高清 |
|
像素 |
1920※1080像素 |
|
圖像接口 |
VGA |
|
LED可調(diào)光源 |
有 |
|
顯示屏 |
8寸 |
|
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
上一個(gè)：
返回列表
