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  • 產(chǎn)品中心

    Product Center

    離子濺射儀

    產(chǎn)品簡介

    KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

    產(chǎn)品型號:
    更新時間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:2254
    詳細(xì)介紹在線留言
    品牌鄭科探價格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池

      KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。離子濺射儀

    參數(shù)

    設(shè)備名稱

    小型濺射儀

    小型蒸鍍儀

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    工作電源

    直流濺射電源

    直流熱蒸發(fā)電源

    鍍膜功能

    0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    功率

    1000W

    1500W

    輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    電壓≤12V  電流≤100A

    真空

    機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    腔體真空

    30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    石英腔體φ160mm x 160mm

    樣品臺

    可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

    樣品臺轉(zhuǎn)速

    8轉(zhuǎn)/分鐘

    樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

    40-105mm

    70-140mm

    蒸發(fā)坩堝容積


    3ML

    蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)


    1600

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa

    預(yù)留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口

    可選配擴展

    1 膜厚在線測試    2 分子泵



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