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  • 產(chǎn)品中心

    Product Center

    當前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀

    小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀

    產(chǎn)品簡介

    KT-Z1650PVD是一款小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節(jié),及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

    產(chǎn)品型號:
    更新時間:2024-03-27
    廠商性質:生產(chǎn)廠家
    訪問量:1526
    詳細介紹在線留言
    品牌鄭科探價格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域電子

         KT-Z1650PVD是一款小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節(jié),及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


    小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀技術參數(shù)

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    濺射電源

    直流濺射電源

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    大功率

    ≤1000W

    大輸出電壓電流

    電壓≤1000V  電流≤1A

    極限真空

    機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

    濺射真空

    ≤30Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

    樣品臺

    可旋轉φ62  (大可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8轉/分鐘

    樣品濺射源調節(jié)距離

    40-105mm

    真空測量

    皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

    預留真空接口

    KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口


    針對市場上其它型號我們做如下改進

    1 腔體擴充口可增加擴展口  大可擴展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器

    2 樣品可旋轉 大轉速20轉每分鐘 使鍍膜樣品更均勻

    3 輕旋轉機械手柄 樣品高度可精細調節(jié) 樣品距離靶材距離可到1mm

    4 電動擋板 使用人機界面程序控制打開或者關閉時間

    5 可通過人機界面手動或者使用編程自動控制預濺射(洗靶) 恒定功率輸出  變換功率輸出 定時打開擋板(時間單位 秒)關閉擋板 樣品轉速  工藝可存儲  工藝名稱可改 利如 噴金20納米厚

    6 腔體上蓋鉸鏈安裝 更換靶材方便操作

    7 此產(chǎn)品已申請多項技術 抄襲請慎重?。。?/span>


        目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機   小型離子濺射儀   小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

       公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關系,建有開放實驗室,相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴謹?shù)募夹g研發(fā)能力,科學合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質量和服務工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。



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